型號(hào)：

精密液體氣相發(fā)生器

描述：產(chǎn)品簡(jiǎn)介：精密液體氣相發(fā)生器是針對(duì)實(shí)驗(yàn)室CVD實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的系統(tǒng)，其液體流量是通過(guò)數(shù)字液體泵來(lái)控制，流量為80ml/min，精確度為0.005ml

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更新時(shí)間
2024-03-07
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詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：精密液體氣相發(fā)生器是針對(duì)實(shí)驗(yàn)室 CVD 實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的系統(tǒng)，其液體流量是通過(guò)數(shù)字液體泵來(lái)控制，流量為 80ml/min ，精確度為 0.005ml。液體被蠕動(dòng)泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后，被系統(tǒng)里的加熱裝

置加熱成蒸汽，然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。本機(jī)能夠?qū)С龆喾N液體，如 ETOH 、SnCl4 、 TiCl4R、

SiHCl3 和 Zn（C2H5）2，以及多種有機(jī)物混合。對(duì)于研究用 CVD 方法生長(zhǎng)納米線和薄膜是的研究設(shè)備。

產(chǎn)品型號(hào)	精密液體氣相發(fā)生器
主要特點(diǎn)	1 、流體和氣體在一個(gè) 316 不銹鋼罐中加熱。
	2 、采用 30 段程序化控溫。 3 、氣體流速通過(guò)浮子流量計(jì)控制。 4 、配有壓力表，可測(cè)出液氣混合罐中的氣體壓強(qiáng)。 5 、配有兩個(gè)不銹鋼針閥，以控制氣體進(jìn)出。 6 、可與本司所有管式爐和 CVD 系統(tǒng)相連接。
	7 、已通過(guò) CE 認(rèn)證。
技術(shù)參數(shù)	1 、電源：單相 AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率： 1000W 3、蠕動(dòng)泵：精確度±0.02%FS ，流量 0-80ml/min （可調(diào)） 4、工作溫度： 300℃