產(chǎn)品名稱

TF200 薄膜厚度測量系統(tǒng)

產(chǎn)品型號

TF200-VIS

TF200-EXR

TF200-DUV

TF200-XNIR

主要特點(diǎn)

快速、準(zhǔn)確、無損、靈活、易用、性價(jià)比高

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體（SiO2/SiNx、光刻膠、 MEMS ，SOI 等）

LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、 聚亞酰胺 ITO 等)

LED (SiO2 、光刻膠 ITO 等）

觸摸屏(ITO AR Coating 反射/穿透率測試等)

汽車(防霧層、 Hard Coating DLC 等）

醫(yī)學(xué)（聚對二甲苯涂層球囊/壁厚藥膜等）

波長范圍

380-1050nm

380-1700nm

190-1100nm

900-1700nm

厚度范圍

50nm-40um

50nm-300um

1nm-30um

10um-3mm

準(zhǔn)確度（取決于材 料0.4%或 2nm 之間 取較大者）

2nm

2nm

1nm

10nm

精度

0.2nm

0.2nm

0.2nm

3nm

入射角

90°

90°

90°

90°

樣品材料

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

透明或半透明

測量模式

反射/透射

反射/透射

反射/透射

反射/透射

光斑尺寸（可選微 光斑附件。）

2mm

2mm

2mm

2mm

是否能在線

是

是

是

是

掃描選擇

XY 可選

XY 可選

XY 可選

XY 可選