產(chǎn)品型號(hào)

SE-Mapping 光譜橢偏儀

主要特點(diǎn)

1、全基片橢偏繪制化測(cè)量解決方案

2、支持產(chǎn)品設(shè)計(jì)以及功能模塊定制化，一鍵繪制測(cè)量

3、配置 Mapping 模塊，全基片自定義多點(diǎn)定位測(cè)量能力

4、豐富的數(shù)據(jù)庫(kù)和幾何結(jié)構(gòu)模型庫(kù)，保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力

5、采用氘燈和鹵素?zé)魪?fù)合光源，光譜覆蓋紫外到近紅外范圍

(193-2500nm)

6、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、 PCRSA 配置， 實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集

7、具備全基片自定義多點(diǎn)自動(dòng)定位測(cè)量能力，提供全面膜厚檢測(cè)分析報(bào)告

1、自動(dòng)化程度：固定角+mapping

2、應(yīng)用定位：檢測(cè)型

3、基本功能： Psi/Delta、N/C/S、R 等光譜

4、分析光譜： 380-1000nm(可擴(kuò)至 193-2500nm)

5、單次測(cè)量時(shí)間： 0.5-5s

6、重復(fù)性測(cè)量精度： 0.01nm

7、光斑大小： 大光斑 2-3mm,微光斑200um

8、入射角調(diào)節(jié)方式：固定角

9、入射角范圍： 65°

10、找焦方式：手動(dòng)找焦

11、Mapping1 程： 300x300mm

12、支持樣件尺寸： 至 300mm

可選配件

3

真空泵

4

透射吸附組件