產(chǎn)品名稱

VTC-16-D 小型直流磁控等離子濺射儀

產(chǎn)品型號

VTC-16-D

主要特點(diǎn)

1 、特別為 SEM 樣品鍍導(dǎo)電性薄膜設(shè)計(jì)。

2、體積小巧，操作簡單，容易上手。

3、擁有小型磁控靶頭，可以鍍金銀鉑等金屬。

1、輸入電源： 220V AC 50/60Hz

2、功率： 200W

3、輸出電壓： 500 VDC

技術(shù)參數(shù)

5、濺射時(shí)間： 0-120S 可調(diào)

6、濺射腔體

1）采用石英腔體，尺寸： 166 mm OD x 150 mm ID x 150 mm H

2）密封： 采用不銹鋼平法蘭的 O 形密封圈

7、濺射頭&樣品臺

l）濺射頭可安裝靶材直徑為 2 英寸， 厚度 0.1 - 2.5mm

2）濺射時(shí)間 1-120S 可調(diào)

3）儀器中安裝有直徑為 50mm 的不銹鋼樣品臺， 其與濺射頭之間距離 30-80mm 可調(diào)。

4）可選購加熱型樣品臺，其加熱溫度可達(dá) 500℃

5）安裝有一可手動(dòng)操作的濺射擋板，可進(jìn)行預(yù)濺射

6）制膜的直徑可達(dá):4 英寸（僅供參考，詳情請點(diǎn)擊）

8、真空系統(tǒng)

l）安裝有 KF25 真空接口 2）數(shù)字真空壓力表（Pa） 3）此系統(tǒng)可通入氣體運(yùn)行

4）< 1.0E-2 Torr    （采用機(jī)械泵）

5）< 1.0E-5 Torr  （采用渦旋分子泵）

9、進(jìn)氣

l）設(shè)備上配 1/4 英寸進(jìn)氣口，方便連接氣瓶

2）設(shè)備前面板上裝有一氣流調(diào)節(jié)旋鈕，方便調(diào)節(jié)氣流

10、靶材

l）靶材尺寸要求： Φ50mm×(0.1 - 2.5) mm(厚度)

2）設(shè)備標(biāo)配為銅靶

11、產(chǎn)品外型尺寸

L460 mm × W 330 mm × H 540 mm