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型號:

GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀

描述:產(chǎn)品簡介:GSL-1100X-SPC-16-3等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理(直流二極濺射鍍膜是指在真空環(huán)境中利用粒子轟擊靶材產(chǎn)生的濺射效應(yīng),使得靶材原子或分子從固體表面射出,在基片上沉積形成薄膜的過程

  • 廠商性質(zhì)

    經(jīng)銷商
  • 更新時間

    2024-03-07
  • 訪問量

    249
詳細介紹


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產(chǎn)品簡介: GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理(直流二極濺射鍍膜 是指在真空環(huán)境中利用粒子轟擊靶材產(chǎn)生的濺射效應(yīng), 使得靶材原子或分子從固體表面射出, 在基片上沉 積形成薄膜的過程。屬于物理 氣相沉積(PVD)制備薄膜技術(shù)的一種。 )設(shè)計而成的簡單、可靠、經(jīng)濟的 鍍膜設(shè)備。GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀特別之處是在一個真空室內(nèi)安裝了三個靶,旋轉(zhuǎn)樣品臺 可依次在同一樣品上涂覆三種材料。因此, 適用于實驗室各種復(fù)合膜樣品的制備,以及非導(dǎo)體材料實驗電 極的制作。該設(shè)備體積小,節(jié)省實驗室空間,操作簡單,尤其適合實驗室使用。


產(chǎn)品名稱

GSL-1100X-SPC-16-3 等離子三靶濺射儀

產(chǎn)品型號

GSL-1100X-SPC-16-3

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25±15℃, 濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。


1、水:不需要


2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地


3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度 99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)


4、工作臺: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,承重 50kg 以上


5、通風裝置:不需要

主要特點

1、設(shè)有真空表、濺射電流表,可實時監(jiān)控工作狀態(tài)。


2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電 離氣體,以獲得好的鍍膜效果。


3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計,可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。





4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。


5、根據(jù)電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻 純凈。


6 、已通過 CE 認證。

技術(shù)參數(shù)

1、靶直徑: ?45mm


2、真空室: ?160mm×120mm


3、真空度:≤4×10-2mbar


4、靶位: 3 


5 、max 電流: 50mA


6、可設(shè)定極間: 900s


7、微型真空氣閥: 連接 ?3mm 軟管


8、極限電壓: 1600V    DC


9、機械泵: 2L/s

標準配件

1

金靶材

1 

2

銅靶材

1 

3

鋁靶材

1 

4

進氣針閥

1 

5

保險絲

2 

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材


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