產(chǎn)品型號(hào)

1200℃五溫區(qū)開(kāi)啟式管式爐 OTF-1200X-V

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣： 如作為 CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源 （標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 200kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。 爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料， 成都的減 少能量的損失。內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層， 可以提高加熱效率， 同時(shí)延長(zhǎng)使用 壽命。

2 、采用五個(gè)獨(dú)立的 PID 控制器， 可以設(shè)置 30 段升降溫程序。

3 、溫區(qū)采用 K 型熱電偶，并設(shè)有斷偶和過(guò)熱保護(hù)。

4 、可以選擇控溫軟件，將溫控程序和溫度曲線(xiàn)導(dǎo)入到計(jì)算機(jī)中。

5 、已通過(guò) CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    8KW（需 40A 的空氣開(kāi)關(guān)）

2、石英管： 外徑 Ø50mm ，內(nèi)徑 Ø44mm ，長(zhǎng) 1400mm

外徑 Ø60mm ，內(nèi)徑 Ø54mm ，長(zhǎng) 1400mm

外徑 Ø80mm ，內(nèi)徑 Ø74mm ，長(zhǎng) 1400mm

外徑 Ø100mm ，內(nèi)徑 Ø94mm ，長(zhǎng) 1400mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū)域： 五溫區(qū)各 152mm

5、恒溫區(qū)域： 635mm  （五溫區(qū)設(shè)置成同一溫度）

6 、工作溫度：  1200℃， 連續(xù)工作 1100℃

7、升降溫速率： 20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 1100mm×450mm×670mm；重量： 85kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

石英管

1 根

2

管堵

4 個(gè)

3

真空法蘭

1 套

4

熱電偶

1 根

5

坩堝鉗

1 把

6

高溫手套

1 雙

1、高溫爐控溫軟件及軟件接口模塊

2、石英管堵

3、氧化鋁坩堝

4、石英坩堝

5 、KF25 轉(zhuǎn)換接頭

6、卡套接頭

7、數(shù)字真空計(jì)

8、供氣混氣系統(tǒng)

9、高真空系統(tǒng)

10、雙級(jí)旋片式真空泵