產(chǎn)品型號

1700℃單溫區(qū)三通道混氣 CVD 系統(tǒng) GSL-1700X-F3LV

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，配有風冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。

2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，有效減少能量損失。

3 、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和延長使用壽命。

4 、采用 PID 控制器 ，可以設(shè)置 30 段升降溫程序，并設(shè)有過熱和斷偶保護功能。

5 、已通過 CE 認證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1 、電源： 單相 AC 208V-240V    50Hz/60Hz    5KW

2、爐管： 99.8%高純氧化鋁陶瓷管， 外徑 ?80mm ，內(nèi)徑 ?72mm ，長 1000mm

3、加熱元件： 1800℃級硅鉬棒 8 根

4、加熱區(qū)域： 457mm

5、恒溫區(qū)域： 150mm

6 、工作溫度：  1700℃

7、升降溫速率： 5℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、真空度： 5×10-2 torr

10、泄漏率：  6mtorr/min

真空系統(tǒng)

1、真空泵：雙旋片機械泵

2、可達真空度： 5×10-2 torr

3、法蘭：不銹鋼密封法蘭

4、針閥： 2 個不銹鋼針閥

5、真空泵接口： KF-25

6、軟管接頭： 1/4″

7、真空顯示計： LED 數(shù)字式真空顯示計， 測量范圍 0.1mtorr-850torr

浮子流量混氣系統(tǒng)

1、浮子流量計： 3 個， 精確度 4%FS

2、流量計范圍： 10cc/min-100cc/min ，16cc/min-160cc/min ，25cc/min-250cc/min

3、壓力表： 1 個，監(jiān)測混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：管式爐 550mm×500mm×700mm，混氣系統(tǒng) 600mm×600mm×700mm，真空機組 600mm× 600mm×700mm

重量： 210kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計